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臺(tái)式勻膠機(jī)

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簡(jiǎn)要描述：KWD型臺(tái)式勻膠機(jī)用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂履，具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，保證涂膠厚度的一致性和均勻性。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：

臺(tái)式勻膠機(jī)用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂履，具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，保證涂膠厚度的一致性和均勻性。

技術(shù)參數(shù)：

參數(shù)：手動(dòng)旋鈕控制

基片尺寸φ200-φ600mm圓片、蕞大500x500mm2方片

轉(zhuǎn)速：200-2000轉(zhuǎn)/分

顯示轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1%

旋涂均勻性±5%

勻膠工藝階段：2段

勻膠時(shí)間：3-60s可調(diào)

電機(jī)功率：320W

儀器尺寸：980mmx855mmx855mm

適用材料：硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料

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