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捷歐路JEOL JSM-7610F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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詳細(xì)介紹

捷歐路JEOL JSM-7610F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡是一款半浸沒(méi)式（semi-in-lens）高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，照明系統(tǒng)采用High Power Optics（高性能電子光學(xué)系統(tǒng)），可以進(jìn)行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束），可以用幾百電子伏的入射電子束觀(guān)察樣品的淺表面。半浸沒(méi)式（semi-in-lens）物鏡在低加速電壓下也能將電子束聚焦得很細(xì)；浸沒(méi)式（in-lens）肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍壽命長(zhǎng)，能獲得穩(wěn)定的電流，這兩者的結(jié)合既兼顧了高分辨率觀(guān)察同時(shí)也能夠進(jìn)行高空間分辨率分析。通過(guò)給樣品加以偏壓并照射電子束，能夠利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式，以幾百電子伏的入射電子對(duì)樣品的淺表面進(jìn)行高分辨率觀(guān)察，這是迄今為止未能實(shí)現(xiàn)的。

電子光學(xué)系統(tǒng)采用了高性能電子光學(xué)系統(tǒng)。不僅能進(jìn)行高分辨率觀(guān)察還可以進(jìn)行穩(wěn)定、快速、高精度的元素分析。

電子槍	肖特基場(chǎng)發(fā)射
物鏡	semi-in-lens物鏡
分辨率	1.0 nm @ 15 kV、1.3 nm @ 1 kV 分析模式：3.0 nm @ 15kV WD8mm 5nA
加速電壓	0.1～30kV
束流	幾pA ～ 200nA @ 15 kV
自動(dòng)光闌角控制透鏡	內(nèi)置
倍率	x 25 ～ x 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×75～×3,000,000(1280 x 960 pixels display);
檢測(cè)器	高位檢測(cè)器（SED）低位檢測(cè)器（LED）
能量過(guò)濾器	r-能量過(guò)濾器
Gentle Beam模式	內(nèi)置
樣品交換室	內(nèi)置（具有干燥氮?dú)鈱?dǎo)入功能）氣鎖式、可交換的樣品：φ100mm×40mmH
樣品臺(tái)	5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)
樣品移動(dòng)范圍	X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，傾斜:-5～70°, 旋轉(zhuǎn): 360°